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电子特气三剑客

• 华特气体 (688268)：国内特气领域的先行者。它是国内首家打破高纯六氟乙烷、光刻气等产品进口垄断的企业。值得注意的是，它是全球唯一获得ASML（阿斯麦）认证并推荐的中国特气供应商，其光刻气产品技术实力极强。

• 金宏气体 (688106)：综合性气体巨头。除了工业氧气、氮气，其核心产品超纯氨、氧化亚氮在半导体领域占据很高份额。公司采用“纵向开发、横向布局”战略，不仅在特气上发力，还积极布局现场造气业务。

• 中船特气 (688469)：央企背景。由派瑞特气演变而来，是国内三氟化氮（NF3）、六氟化钨（WF6）等含氟特气的绝对龙头，产能规模位居全球前列。产品在刻蚀和清洗环节应用极广，直接供应台积电、中芯国际等顶尖晶圆厂。